不只是纯粹，而是超纯粹

专业化学金宝搏官方网站品公司朗盛(LANXESS188bet安卓客户端)升级了其用于电子行业的除氧离子交换树脂Lewatit K 7333。改进的聚合物基体结合改进的配方，现在可以生产钯掺杂的强碱性阴离子交换剂，具有很高的纯度，允许它用于生产用于半导体制造和晶圆抛光的超纯水(UPW)。这里只使用特别纯化的离子交换器来生产纯度极高的水。

作为离子交换树脂的领先制造商之一，朗盛旨在通过这种新型产品在电子行业获得更多的客户，并加强其市场地位。

成功的产品升级为开创性的应用

多年来，离子交换器已成功地应用于催化脱除工艺水中的氧。含氧的水流经一个充满Lewatit K 7333的过滤器。在逆流中，氢气通过过滤器。钯掺杂的离子交换器在这里起着催化剂的作用。氢和氧在‘冷燃烧’过程中反应生成水，”朗盛液体净化技术(LPT)业务部门技术营销经理Hans-Jürgen Wedemeyer解释道。

Lewatit k7333的进一步应用是催化脱除H₂O₂(过氧化氢)而不需要氢。这种技术越来越多地用于生产超纯水。用这种方法生产的更高质量的超纯水是必要的，因为在半导体行业中，越来越小的模块间隔的离子残留含量是在ppt/ppq范围内指定的。TOC(总有机碳)含量应理想地在检测限度内。Wedemeyer说:“为了响应模块的增强和细化，对水的纯度要求变得越来越严格，这意味着纳米范围内的粒子数更强更小变得越来越重要。”

为了达到这些非常低的值，使用了一种特殊的紫外线灯。这种灯氧化水中的任何残留生物，产生一氧化碳₂．然后离子交换器以碳酸氢的形式吸收它们。在紫外线照射下治疗的一个副作用是过氧化氢的形成(辐射分解)，它可以破坏下游的离子交换器。这导致了TOC水平的增加和下游离子交换器中粒子的形成。钯掺杂的Lewatit K 7333消除了通过辐射分解形成的过氧化氢，直接降低到ppt的低范围，离子交换器本身只对TOC、粒子或残留离子造成非常小的污染。

“这项技术已经在许多新工厂中使用，并正在对现有工厂进行改造。这就是为什么我们预计对我们的Lewatit K 7333离子交换器的需求会增加，这样我们就可以满足半导体行业对水纯度的越来越严格的要求，”Wedemeyer说。

离子交换器-电子工业湿化学过程中不可缺少的

UPW是微电子和纳米电子生产中光刻过程中晶片加工或复杂的湿化学过程中不可缺少的成分。这种工艺被用于制造半导体部件，如计算机处理器、存储芯片、发光二极管(LED)、液晶(LC)和LED显示器以及光伏模块。UPW还用于微系统技术，用于制造和加工微型机械部件，例如微型泵、微型电机和微型阀门。超纯水是防止或去除纳米级精细结构中的沉积物或杂质的重要先决条件，否则会导致生产故障和不可避免的高废品率。Wedemeyer说:“随着电子产品变得越来越小，UPW的质量要求也在不断提高。

更多详细信息请访问www.lewatit.com．